CN

TAC-ONTM 非晶钻石膜 (超级类金刚石DLC膜)

先进真空镀膜领跑者

TAC-ONTM(非晶钻石膜) 薄膜具有稳定的钻石结构,可形成钻石成分高达 88%的sp3 斜四方键合。该膜层具有低温沉积、超高硬度,超强附着力低摩擦系数、化学性质稳定、耐磨损等特点。由FCVA技术产生的特殊无氢结构类钻石膜层可显著延长 各类模具工具、部件的使用寿命,并大幅降低生产维护成本,从而显著提高产能。


系统配置TAC-ONTMDLC
钻石成分(%)~85~25
密度(g/cm3)~3.3~2
硬度(GPa)~40~15
磨耗率(mm3/Nm)<1.0x10-8<8x10-8
摩擦系数~0.1~0.14
镀膜温度(℃)<80~200
工作温度 (02 <10ppm,℃)~800~500
典型厚度(nm)~1200~2000
镀膜真空度 (Torr)~10-5~10-2
镀膜粒子能量(eV)~100~5

TAC-ONTM 的优点

  • 膜层致密
  • 超强附着力
  • 低温镀膜
  • 无氢碳膜
  • 超高硬度
  • 低摩擦系数
  • 低表面能
  • 杂质颗粒少

主要应用

  • 硬盘读写磁头及盘片
  • 切削刀具
  • PCB 钻头钻针
  • 精密模具
  • 汽车部件
  • 耐磨部件
  • 缝纫部件
  • 表面处理

TAC-ONTM非晶钻石膜 (超级类金刚石DLC膜)